کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5358877 | 1388240 | 2011 | 7 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Influence of TaCl5 partial pressure on texture structure of TaC coating deposited by chemical vapor deposition
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله

چکیده انگلیسی
ⶠTaC coating are deposited at 800 °C and 1200 °C with different TaCl5 pressure by chemical vapor deposition. ⶠSuper-saturation is responsible for different coating morphology and texture structure. ⶠThe growth mechanism of the texture coating is explained by the competitive growth model. ⶠA diffusion model of deposition species around step-edge-corner was proposed.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 257, Issue 9, 15 February 2011, Pages 4044-4050
Journal: Applied Surface Science - Volume 257, Issue 9, 15 February 2011, Pages 4044-4050
نویسندگان
Zhao-Ke Chen, Xiang Xiong, Ying Long,