کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5363682 | 1388304 | 2011 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
The effect of geometry and post-annealing on surface acoustic wave characteristics of AlN thin films prepared by magnetron sputtering
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله

چکیده انگلیسی
⺠AlN thin films by reactive magnetron sputtering. ⺠Effects of geometry on SAW resonators. ⺠Effects of post-annealing on AlN film quality. ⺠Effects of post-annealing on SAW properties.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 257, Issue 20, 1 August 2011, Pages 8696-8701
Journal: Applied Surface Science - Volume 257, Issue 20, 1 August 2011, Pages 8696-8701
نویسندگان
Duy-Thach Phan, Gwiy-Sang Chung,