کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
5363682 1388304 2011 6 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
The effect of geometry and post-annealing on surface acoustic wave characteristics of AlN thin films prepared by magnetron sputtering
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
The effect of geometry and post-annealing on surface acoustic wave characteristics of AlN thin films prepared by magnetron sputtering
چکیده انگلیسی
► AlN thin films by reactive magnetron sputtering. ► Effects of geometry on SAW resonators. ► Effects of post-annealing on AlN film quality. ► Effects of post-annealing on SAW properties.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 257, Issue 20, 1 August 2011, Pages 8696-8701
نویسندگان
, ,