کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5364280 | 1388314 | 2007 | 9 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Fundamentals and applications of ion-ion plasmas
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Fundamentals and applications of ion-ion plasmas Fundamentals and applications of ion-ion plasmas](/preview/png/5364280.png)
چکیده انگلیسی
Ion-ion plasmas can form in the late afterglow of pulsed discharges or downstream of continuous wave discharges in electronegative gases. In ion-ion plasmas, negative ions replace electrons as the negative charge carriers. In the absence of electrons, ion-ion plasmas behave quite differently compared to conventional electron-ion plasmas. Application of a radio frequency bias to a substrate immersed in an ion-ion plasma can be used to extract alternately positive and negative ions, thereby minimizing charging on device features during micro-device fabrication. Ion-ion plasmas are also important in negative ion sources, dusty plasmas, and the D-layer of the earth's atmosphere.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 253, Issue 16, 15 June 2007, Pages 6672-6680
Journal: Applied Surface Science - Volume 253, Issue 16, 15 June 2007, Pages 6672-6680
نویسندگان
Demetre J. Economou,