کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5368494 | 1388399 | 2010 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Roughness evolution of Si surfaces upon Ar ion erosion
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله

چکیده انگلیسی
We studied the roughness evolution of Si surfaces upon Ar ion erosion in real time. Following the theory of surface kinetic roughening, a model proposed by Majaniemi was used to obtain the value of the dynamic scaling exponent β from our data. The model was found to explain both the observed roughening and the smoothening of the surfaces. The values of the scaling exponents α and β, important for establishing a universal model for ion erosion of (Si) surfaces, have been determined. The value of β proved to increase with decreasing ion energy, while the static scaling exponent α was found to be ion energy independent.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 256, Issue 16, 1 June 2010, Pages 5011-5014
Journal: Applied Surface Science - Volume 256, Issue 16, 1 June 2010, Pages 5011-5014
نویسندگان
V.I.T.A. de Rooij-Lohmann, I.V. Kozhevnikov, L. Peverini, E. Ziegler, R. Cuerno, F. Bijkerk, A.E. Yakshin,