کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5369251 | 1388425 | 2006 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Deposition of zinc oxide thin films by reactive pulsed laser ablation
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
Thin films of zinc oxide have been deposited by reactive pulsed laser ablation of Zn and ZnO targets in presence of a radio frequency (RF) generated oxygen plasma. The gaseous species have been deposited at several substrate temperatures, using the on-axis configuration, on Si (1Â 0Â 0). Thin films have been characterized by scanning electron microscopy, atomic force microscopy, X-ray diffraction, X-ray photoelectron spectroscopy and infrared spectroscopy. A comparison among conventional PLD and reactive RF plasma-assisted PLD has been performed.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 252, Issue 13, 30 April 2006, Pages 4604-4609
Journal: Applied Surface Science - Volume 252, Issue 13, 30 April 2006, Pages 4604-4609
نویسندگان
P. Bilkova, J. Zemek, B. Mitu, V. Marotta, S. Orlando,