کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5369892 | 1388460 | 2007 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Ripple surface generated on hydrogenated amorphous carbon nitride films
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله

چکیده انگلیسی
It is reported for the first time that the periodical ripple surface feature at micrometer-scale was observed on hydrogenated amorphous carbon nitride films deposited by pulse plasma chemical vapor deposition (CVD) technique. Nitrogen incorporation to hydrogenated amorphous carbon films and the different growing environments of pulse dc plasma discharge perhaps played crucial role in the surface morphology transformation of hydrogenated amorphous carbon nitride films.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 253, Issue 8, 15 February 2007, Pages 4099-4102
Journal: Applied Surface Science - Volume 253, Issue 8, 15 February 2007, Pages 4099-4102
نویسندگان
Chengbing Wang, Shengrong Yang, Junyan Zhang,