کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5370432 | 1388494 | 2006 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Simulation and fabrication of carbon nanotubes field emission pressure sensors
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Simulation and fabrication of carbon nanotubes field emission pressure sensors Simulation and fabrication of carbon nanotubes field emission pressure sensors](/preview/png/5370432.png)
چکیده انگلیسی
A novel field emission pressure sensor has been achieved utilizing carbon nanotubes (CNTs) as the electron source. The sensor consists of the anode sensing film fabricated by wet etching process and multi-wall carbon nanotubes (MWNTs) cathode in the micro-vacuum chamber. MWNTs on the silicon substrate were grown by thermal CVD. The prototype pressure sensor has a measured sensitivity of about 0.17-0.77Â nA/Pa (101-550Â KPa). The work shows the potential use of CNTs-based field-emitter in microsensors, such as accelerometers and tactile sensors.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 252, Issue 12, 15 April 2006, Pages 4198-4201
Journal: Applied Surface Science - Volume 252, Issue 12, 15 April 2006, Pages 4198-4201
نویسندگان
Kaiyou Qian, Ting Chen, Bingyong Yan, Yangkui Lin, Dong Xu, Zhuo Sun, Bingchu Cai,