کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5423727 | 1507949 | 2010 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Adsorption mechanisms of fluorocarbon polymers at ultra low-k surfaces
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله

چکیده انگلیسی
We report ab initio investigations for the adsorption mechanisms of fluorocarbon polymers at ultra low-k (ULK) surfaces. As prototypical example we study a C2F4-molecule adsorbed at a passivated SiO2:CH3(001) surface. The calculated adsorption energies between 1.37 and 1.95Â eV imply a chemisorption bonding mechanism. The detailed analysis of all investigated structures provides a simple rule to make a rough estimate of the stability of adsorbed fluorocarbon polymers. In addition, an adsorption pathway is proposed and used to suggest a possible adsorption mechanism, triggered by an electron transfer between the ULK surface and the C2F4 molecule.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Surface Science - Volume 604, Issues 19â20, September 2010, Pages 1808-1812
Journal: Surface Science - Volume 604, Issues 19â20, September 2010, Pages 1808-1812
نویسندگان
R. Leitsmann, O. Böhm, Ph. Plänitz, C. Radehaus, M. Schaller, M. Schreiber,