کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5442518 | 1510762 | 2017 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Porous silicon micro-resonator implemented by standard photolithography process for sensing application
ترجمه فارسی عنوان
میکروس رزوناتور سیلیکون متخلخل با فرآیند فوتولیتوگرافی استاندارد برای سنجش کاربرد انجام می شود
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
سنسورها، اپتیک مجتمع طراحی و ساخت نوری، رزوناتورها، سیلیکون متخلخل،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سرامیک و کامپوزیت
چکیده انگلیسی
A micro-resonator based on porous silicon ridge waveguides is implemented by a large scale standard photolithography process to obtain a low cost and sensitive sensor based on volume detection principle instead of the evanescent one usually used. The porous nature of the ridge waveguides allows the target molecules to be infiltrated in the core and to be detected by direct interaction with the propagated light. Racetrack resonator with radius of 100 μm and a coupling length of 70 μm is optically characterized for the volume detection of different concentrations of glucose. A high sensitivity of 560 nm/RIU is reached with only one micro-resonator and a limit of detection of 8.10â5 RIU, equivalent to a glucose concentration of 0.7 g/L, is obtained.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Optical Materials - Volume 72, October 2017, Pages 596-601
Journal: Optical Materials - Volume 72, October 2017, Pages 596-601
نویسندگان
P. Girault, P. Azuelos, N. Lorrain, L. Poffo, J. Lemaitre, P. Pirasteh, I. Hardy, M. Thual, M. Guendouz, J. Charrier,