کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5444028 | 1510961 | 2016 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Aqueous process to limit hydration of thin-film inorganic oxides
ترجمه فارسی عنوان
فرایند آبی برای محدود کردن هیدراتاسیون اکسید های غیر آلی نازک
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
اکسید، پوشش سد، دی الکتریک،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سرامیک و کامپوزیت
چکیده انگلیسی
Aqueous-processed aluminum oxide phosphate (AlPO) dielectric films were studied to determine how water desorbs and absorbs on heating and cooling, respectively. In-situ Fourier transform infrared spectroscopy showed a distinct, reversible mono- to bidentate phosphate structural change associated with water loss and uptake. Temperature programmed desorption measurements on a 1-μm thick AlPO film revealed water sorption was inhibited by an aqueous-processed HfO2 capping film only 11-nm thick. The HfO2 capping film prevents water resorption, thereby preserving the exceptional performance of AlPO as a thin-film dielectric.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Solid State Sciences - Volume 61, November 2016, Pages 106-110
Journal: Solid State Sciences - Volume 61, November 2016, Pages 106-110
نویسندگان
Cory K. Perkins, Ryan H. Mansergh, Deok-Hie Park, Charith E. Nanayakkara, Juan C. Ramos, Shawn R. Decker, Yu Huang, Yves J. Chabal, Douglas A. Keszler,