TiN deposition and morphology control by scalable plasma-assisted surface treatments

کد مقاله	کد نشریه	سال انتشار	مقاله انگلیسی	نسخه تمام متن
5448335	1511775	2017	35 صفحه PDF	دانلود رایگان

عنوان انگلیسی مقاله ISI

رایگان برای ایرانیان

کلمات کلیدی

موضوعات مرتبط

مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد مواد الکترونیکی، نوری و مغناطیسی

پیش نمایش صفحه اول مقاله

ناشر

Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Materials Chemistry and Physics - Volume 188, 15 February 2017, Pages 143–153