کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5467164 | 1518618 | 2017 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Performance test of high brightness nano-aperture ion source
ترجمه فارسی عنوان
تست عملکرد نور یون منبع نانو دیافراگم بالا
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
نوشتن پرتو پروتون، منبع یون نانو دیافراگم، روشنایی بالا،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سطوح، پوششها و فیلمها
چکیده انگلیسی
The nano-aperture ion source (NAIS) is a candidate to be part of a compact proton beam writing system, which has the potential of high throughput with sub 10Â nm spot sizes. To evaluate the performance of this ion source, different NAIS chip configurations were examined through simulation. This study suggests that a proton reduced brightness of more than 106Â A/(m2srV) can be achieved, with an ion energy spread of less than 1Â eV. Meanwhile, a prototype NAIS has been fabricated and tested to deliver 800Â A/(m2srV) of reduced brightness for Ar+ beam. Current limitations and further improvements of this prototype NAIS are discussed.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms - Volume 404, 1 August 2017, Pages 52-57
Journal: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms - Volume 404, 1 August 2017, Pages 52-57
نویسندگان
Xinxin Xu, P. Santhana Raman, Rudy Pang, Nannan Liu, Anjam Khursheed, Jeroen A. van Kan,