کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5467197 | 1518618 | 2017 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Fabrication of high-transmission microporous membranes by proton beam writing-based molding technique
ترجمه فارسی عنوان
تولید غشاهای میکروپروسسوری با پروتئین با تکنیک قالب گیری برش نویسی
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
نوشتن پرتو پروتون، میکرو سازه، غشاء متخلخل، پوشش آزاد، لیتوگرافی نرم
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سطوح، پوششها و فیلمها
چکیده انگلیسی
In this project, we developed a procedure for fabricating high-transmission microporous membranes by proton beam writing (PBW) with a combination of spin-casting and soft lithography. In this approach, focused 2 MeV protons were used to lithographically write patterns consisting of hexagonal arrays of high-density pillars of few µm size in a SU-8 layer coated on a silicon wafer. After development, the pillars were conformably coated with a thin film of poly-para-xylylene (Parylene)-C release agent and spin-coated with polydimethylsiloxane (PDMS). To facilitate demolding, a special technique based on the use of a laser-cut sealing tape ring was developed. This method facilitated the successful delamination of 20-μm thick PDMS membrane with high-density micropores from the mold without rupture or damage.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms - Volume 404, 1 August 2017, Pages 224-227
Journal: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms - Volume 404, 1 August 2017, Pages 224-227
نویسندگان
Liping Wang, Clemens Meyer, Edouard Guibert, Alexandra Homsy, Harry J. Whitlow,