کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5468144 | 1518927 | 2017 | 13 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
A plasma electron source for generating beam plasma at low gas pressures
ترجمه فارسی عنوان
منبع الکترون پلاسما برای تولید پلاسما پرتو در فشار گاز کم
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سطوح، پوششها و فیلمها
چکیده انگلیسی
A plasma electron source design for generating beam plasma at low gas pressures is reported. The designed plasma electron source can run stably in the pressure range between 0.1Â Pa and 4Â Pa. The electron source emission current increases as the working pressure increases. The DC electron beam can reach 11Â AÂ at an extraction voltage of 400Â V and a gas pressure of 4.0Â Pa, which is experimentally verified in this article. This low energy and high current electron beam interacts with gas molecules to generate a beam plasma, which increased the plasma electron source output current. As the working pressure and emission current increased, the beam plasma emission spectrum intensity increased.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Vacuum - Volume 143, September 2017, Pages 407-411
Journal: Vacuum - Volume 143, September 2017, Pages 407-411
نویسندگان
Jianping Xu, Xiubo Tian, Chunzhi Gong, Chunwei Li, Mingzhong Wu, Jiajie Wang, Tianhui Ma,