کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5468389 | 1518931 | 2017 | 8 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Balanced magnetic field in magnetron sputtering systems
ترجمه فارسی عنوان
میدان مغناطیسی متعادل در سیستمهای اسپکترومغناطیسی مگنترون
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
سیستم اسپکترومغناطیسی، مغناطیس نامتعادل ضریب عدم تعادل هندسی، ویژگی های تخلیه، اسپری کم فشار،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سطوح، پوششها و فیلمها
چکیده انگلیسی
For all investigated configurations of the magnetrons the minimal working pressure can be reached at a lower level of the geometric unbalance (KGÂ =Â 1.02-1.125) compared to the minimal discharge voltage, and it is independent of the dimensions of magnetron's magnetic system.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Vacuum - Volume 139, May 2017, Pages 109-116
Journal: Vacuum - Volume 139, May 2017, Pages 109-116
نویسندگان
Dmitriy A. Golosov,