کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
5468397 1518935 2017 36 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Computer simulation of the sheath and the adjacent plasma in the presence of a plasma source
ترجمه فارسی عنوان
شبیه سازی کامپیوتری غلاف و پلاسمای مجاور در حضور یک منبع پلاسما
کلمات کلیدی
ترجمه چکیده
یک مدل ساخته شده است که اجازه می دهد شبیه سازی های کامپیوتری از محدوده نزدیک به دیواره یک ورق پلاسما مسطح در شرایطی که حالت پایدار پلاسما توسط تولید ذرات شارژ در یک ناحیه برداشته شده از دیوار پشتیبانی می شود. محاسبات نشان می دهد تنوع در توزیع انرژی الکترون در هر دو زمان و مکانی بیش از عرض ورق (خنک کننده مولفه الکترونیکی) به علت جذب الکترون های سریع در دیواره محدود حجم حجم پلاسما. نشان داده شده است که مشخصات تراکم پلاسما در عرض ورق، کاهش ناگهانی در مرز منطقه تنظیم پلاسما است. بنابراین مفاهیم استاندارد توزیع تراکم پتانسیل و پلاسما در غلاف و پیش بینی بر پایه فرض توزیع انرژی پایدار برای الکترون در زمان پیش بینی نتایج ناکافی برای ورق پلاسما است که در آن منبع یونیزاسیون دور از دیوار است.
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد سطوح، پوشش‌ها و فیلم‌ها
چکیده انگلیسی
A model is constructed allowing computer simulations of the near-wall area of a planar plasma sheet in conditions where the steady state of the plasma is supported by the production of charged particles in a region removed from the wall. Calculations have revealed variation in the energy distribution of the electrons in both time and spatially over the sheet width (cooling the electronic component) due to absorption of fast electrons at the walls bounding the plasma volume. It is shown that the plasma density profile across the sheet width has an abrupt decrease at the boundary of the region of plasma regulation. Thus the standard concepts of the potential and plasma density distributions in the sheath and presheath based on the assumption of a stable energy distribution for the electrons in the presheath yields inaccurate results for the plasma sheet where the ionization source is remote from the wall.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Vacuum - Volume 135, January 2017, Pages 1-6
نویسندگان
, , ,