Surface characterization of magnesium fluoride thin films prepared by a fluorine trapping based non-reactive sputtering technique

رسوب موفقیتآمیز فیلمهای نازک فلوراید منیزیم با تکنیک اسپکترومغناطیسی مگنترون غیر متعارف در اینجا گزارش شده و سپس آنالیز خواص نوری، مورفولوژیکی و ساختاری آنها گزارش شده است. نقص در عرضه خارجی گازهای فلوراید خطرناک بهداشتی در زمینه تهیه فیلم های فلوراید با استفاده از فرایندهای متداول اسپری، با به دام انداختن گاز فلوراید جدا شده در داخل محفظه در طی رسوب، کاملا حذف شد. وابستگیهای اصلی خواص فیلم نازک که در بالا ذکر شد بر قدرت انرژی مگنترون بررسی شده است. کیفیت سازه های سطح بر اساس زبری سطح و پارامترهای عملکرد همبستگی سطح مورد تحلیل قرار گرفت. در بررسی حاضر، همبستگی کیفی مورفولوژی فیلم با خواص اپتیکی چنین فیلمهای فلوراید مشاهده شد. نرخ رشد فیلم ها در تعیین سطح توپوگرافی فیلم ها اهمیت زیادی دارد. بررسی دقیق ساختار فیلم به وضوح افزایش قابل توجهی در اندازه کریستالیت با افزایش میزان اسپری شدن نشان داد. ترکیب فیلم در طول محدوده قدرت مورد مطالعه که توسط طیف سنجی فوتوالکترون اشعه ایکس دیده می شود، حفظ می شود. در نهایت، قدرت تفکیک مطلوب برای رسوب فیلم با توجه به کیفیت ساختار سطح و کیفیت نوری فیلم ها تعیین گردید.