Error correction based on micro-scanning preprocessing for an optical micro-scanning thermal microscope imaging system

در سال های اخیر، سیستم های تصویربرداری مختلف میکروسکوپ حرارتی برای پاسخگویی به خواسته های تجزیه و تحلیل میکرو گرمایی برای مدارهای مجتمع در مقیاس بزرگ، علوم زیست پزشکی، علوم و زمینه های تحقیقاتی توسعه داده شده است. با این حال، سیستم های تصویربرداری میکروسکوپ معمولی که از آشکارسازهای مادون قرمز خنک استفاده می کنند سنگین و گران هستند. برای حل این مشکل، یک سیستم تصویربرداری با میکروسکوپ حرارتی بر پایه یک آشکارساز مادون قرمز خنثی طراحی شده است. با این حال، رزولوشن مکانی سیستم تصویربرداری میکروسکوپ حرارتی بر پایه یک آشکارساز مادون قرمز خنک کننده کم است. با تکنولوژی نوری میکرو اسکن، رزولوشن مکانی سیستم تصویربرداری میکروسکوپ حرارتی بدون افزایش ابعاد آشکارساز یا کاهش اندازه واحد آشکارساز می تواند افزایش یابد. به منظور بهبود وضوح فضایی آن، یک سیستم میکرو اسکن بر اساس چرخش صفحه نوری توسعه داده شد و یک سیستم تصویربرداری میکروسکوپ میکروسکوپ نوری پس از طراحی یکپارچه به دست آمد. با توجه به عوامل محیطی، ارتعاش مکانیکی، خطای هم ترازی و سایر عوامل، خطای میکرو اسکن در سیستم تصویربرداری میکروسکوپ گرمایی میکروسکوپ طراحی شده است. چهار تصویر با وضوح پایین با استفاده از سیستم تصویربرداری میکروسکوپ میکروسکوپ میکروسکوپ تصویری که از نمونه های استاندارد گرفته شده نیستند. کیفیت تصویر به طور مستقیم با چهار تصویر جمع آوری شده به طور مستقیم تزریق می شود و عملکرد سیستم میکرو اسکن به طور کامل مورد سوء استفاده قرار نمی گیرد. بنابراین، بر اساس الگوریتم اصلاح خطای میکرو اسکن خطا و الگوریتم درونی الگوریتم جدید، روش اصلاح خطای میکرو اسکن جدید پیشنهاد شده است. شبیه سازی ها و آزمایش ها نشان می دهد که تکنیک پیشنهادی می تواند به طور موثر خطای میکرو اسکن نوری را بهبود بخشد، سیستم رزولاسیون فضایی سیستم را بهبود بخشد و بهینه سازی اثر سیستم تصویربرداری. این می تواند به دیگر سیستم های تصویر برداری الکترو نوری برای بهبود وضوح فضایی خود اعمال شود.