کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5488882 | 1399588 | 2017 | 22 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Fluid simulation of a pulse-modulated, inductively coupled plasma discharge with radio frequency bias
ترجمه فارسی عنوان
شبیه سازی سیال یک پالس مدولاسیون، تخریب پلاسما همراه با القایی با تعویض فرکانس رادیویی
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
فیزیک و نجوم
فیزیک ماده چگال
چکیده انگلیسی
The plasma characteristics of pulse-modulated, radio frequency (RF) power in an inductively coupled plasma discharge were investigated. A two-dimensional axisymmetric structure was simulated based on the fluid model. In addition, the energy and mobility of neutral species were considered. When the power was switched to ON from OFF, the electron density and electron temperature changed instantaneously. When the power was OFF, we analyzed the profiles of the electron density and electron temperature over time. Moreover, the ion energy distribution function was investigated using several RF bias conditions.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Current Applied Physics - Volume 17, Issue 3, March 2017, Pages 403-408
Journal: Current Applied Physics - Volume 17, Issue 3, March 2017, Pages 403-408
نویسندگان
YoungDo Jeong, Young Jun Lee, Deuk-Chul Kwon, HeeHwan Choe,