کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
6946065 | 1450522 | 2017 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Improved reliability characteristics of Ge MOS devices by capping Hf or Zr on interfacial layer
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی کامپیوتر
سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Improved reliability characteristics of Ge MOS devices by capping Hf or Zr on interfacial layer Improved reliability characteristics of Ge MOS devices by capping Hf or Zr on interfacial layer](/preview/png/6946065.png)
چکیده انگلیسی
Ultralow equivalent oxide thickness and excellent reliability characteristics in Ge MOS devices with ZrO2 gate dielectrics are achieved by capping Hf or Zr on interfacial layer. Device with a Hf-cap layer demonstrates the lowest interface trap density and stress-induced leakage current. On the other hand, device with a Zr-cap layer exhibits the lowest hysteresis effects and stress-induced voltage shifts. The HfGeOx IL of high quality and ZrGeOx IL with few oxide traps are promising to improve reliability characteristics in Ge MOS devices.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronics Reliability - Volume 79, December 2017, Pages 136-139
Journal: Microelectronics Reliability - Volume 79, December 2017, Pages 136-139
نویسندگان
Yan-Lin Li, Kuei-Shu Chang-Liao, Yu-Wei Chang, Tse-Jung Huang, Chen-Chien Li, Zhao-Chen Gu, Po-Yen Chen, Tzung-Yu Wu, Jiayi Huang, Fu-Chuan Chu, Shih-Han Yi,