کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
6946822 | 1450547 | 2014 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Monolithic integrable capacitive humidity sensing method for material characterization of dielectric thin films
ترجمه فارسی عنوان
روش سنجش رطوبت خازنی یکپارچه برای تعیین ویژگی های مواد نازک دی الکتریک
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی کامپیوتر
سخت افزارها و معماری
چکیده انگلیسی
A monolithic integrable capacitive humidity sensing method to determine water vapour transmission rates (WVTRs) of dielectric thin films is presented. The capacitive sensor, being used to detect transmission of water vapour, as well as the dielectric thin film to be tested can be processed subsequently with standard semiconductor technology. First measurements yield a reliable value of the well investigated dielectric silicon dioxide (SiO2). A 330 nm thick plasma enhanced chemical vapour deposited film of SiO2 showed a WVTR of â¼1.6â10-2±0.7â10-2gm2âd at 124 °C and a step in surrounding relative humidity from 65% to 85%. The working principle of the sensor, its drawbacks and improvements are discussed and compared with other methods.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronics Reliability - Volume 54, Issues 9â10, SeptemberâOctober 2014, Pages 1741-1744
Journal: Microelectronics Reliability - Volume 54, Issues 9â10, SeptemberâOctober 2014, Pages 1741-1744
نویسندگان
A. Rückerl, S. Huppmann, R. Zeisel, S. Katz,