A carrier removal technique for Fourier transform profilometry based on principal component analysis

ما یک روش تخلیه حامل برای پروفیل سنجی تبدیل فوریه با استفاده از تجزیه و تحلیل مولفه اصلی ارائه می دهیم. رویکرد پیشنهادی قادر به تجزیه نقشه فازی به چند مولفه اصلی است که در آن فاز حامل را می توان از اولین اجزای غالب به دست آورد. این می تواند به خوبی با مشکل حامل های غیر خطی ناشی از روشنایی واگرا که معمولا در پروفیل سنجی پیش بینی پروفیل مورد استفاده قرار می گیرد. آن موثر است، کاملا اتوماتیک و برآورد پارامترهای هندسی سیستم یا دانش پیشین بر روی شیء اندازه گیری نیازی ندارد. علاوه بر این، تاثیر اعوجاج لنز در نظر گرفته می شود بنابراین حامل را می توان با دقت بیشتری تعیین کرد. اصل تکنیک توسط آزمایش های ما تایید شده است، نشان می دهد که در هر دو اندازه گیری های استاتیک و پویا خوب عمل می کند.