کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
7133055 | 1461742 | 2012 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
In-situ SEM investigation of sub-microscale deformation fields around a crack-tip in silicon
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
سایر رشته های مهندسی
مهندسی برق و الکترونیک
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
⺠The sub-microscale silicon pillars grating was fabricated using holographic lithography followed by inductively coupled plasma etching. ⺠A combination of in-situ scanning electron microscopy and geometric phase analysis was used to study the deformation fields around a crack-tip in single-crystal silicon under tensile load. ⺠Strain measurement results were compared with the linear elastic fracture mechanics solutions.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Optics and Lasers in Engineering - Volume 50, Issue 12, December 2012, Pages 1694-1698
Journal: Optics and Lasers in Engineering - Volume 50, Issue 12, December 2012, Pages 1694-1698
نویسندگان
J.J. Li, C.W. Zhao, Y.M. Xing, X.H. Hou, Z.C. Fan, Y.J. Jin, Y. Wang,