Passive and chipless packaged transducer for wireless pressure measurement

در این مقاله یک حسگر میکروویو کاملا منفعل، بی نظیر و بسته بندی شده برای نظارت بر فشار بیسیم در محیط های خشن (مانند دمای شدید، محیط رادیو اکتیو و / یا سمی) پیشنهاد شده است. این سنسور از یک رزوناتور میکروستریو مسطح تشکیل شده که از نظر الکترومغناطیسی دارای مقاومت بالا و غشای سیلیکونی نازک است. نمونه های اولیه طراحی شده و ساخته شده است با استفاده از یک لایه میان لایه نوری برای پیوند غشای سیلیکون. شبیه سازی الکترومغناطیسی سیستم به منظور پیش بینی عملکرد اجرایی انجام می شود. نتایج حاصل از اندازه گیری با استفاده از سنسور بسته بندی شده به منظور آزمایش نتایج حاصل از شبیه سازی و فرآیند تولید ارائه می شود.