کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
7133266 | 1461823 | 2018 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
High-angular-sensitivity total-internal-reflection heterodyne interferometry for small displacement measurements
ترجمه فارسی عنوان
اندازه گیری های جابجایی کوچک با استفاده از تداخل سنجی هتروودنی با تفکیک پذیری بالا و زاویه ای حساسیت
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
الکتروشیمی
چکیده انگلیسی
This paper proposes an optical method for measuring small displacements using high-angular-sensitivity total-internal-reflection (TIR) heterodyne interferometry. In the designed system, a half-wave plate and a quarter-wave plate that display specific optic-axis azimuths are combined to form a phase shifter. When an isosceles right-angle prism is placed between the phase shifter and an analyzer that displays suitable transmission-axis azimuth, it shifts and enhances the phase difference of the s- and p- polarization states at one TIR. The enhanced phase difference is a function of the prism incident angle, whose variation depends on the displacement of a target; therefore the displacement can be easily and precisely measured by estimating the phase-difference variation. The feasibility of our method was demonstrated with measurement resolution and sensitivity levels superior to 0.025â¯Î¼m and 4.0°/μm, respectively in a measurement range of 10â¯Î¼m.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 277, 1 July 2018, Pages 163-168
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 277, 1 July 2018, Pages 163-168
نویسندگان
Jiun-You Lin, Xuan-Wei Lee, Meng-Chang Hsieh, Chia-Ou Chang,