| کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
|---|---|---|---|---|
| 7133272 | 1461821 | 2018 | 7 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
A high stability and uniformity W micro hot plate
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
الکتروشیمی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
Thermal treatments have been performed in order to enhance the device thermal and electrical performances repeatability on wafer.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 279, 15 August 2018, Pages 617-623
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 279, 15 August 2018, Pages 617-623
نویسندگان
Maria Eloisa Castagna, Roberto Modica, Salvatore Cascino, Maurizio Moschetti, Viviana Cerantonio, Alberto Messina, Antonello Santangelo,