کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
7145721 | 1462074 | 2015 | 22 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Low power consumption micro C2H5OH gas sensor based on micro-heater and ink jetting technique
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی آنالیزی یا شیمی تجزیه
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
Micro alcohol gas sensor was fabricated based on micro-heater by using CMOS compatible MEMS process and ink jetting technique. The paste for ink jetting deposition was based on semiconducting In2O3 powder. In the structure of micro-heater, two semi-circled Pt heaters, where some etching holes including etching hole in the center of the micor-heater exist, are connected to the spreader for thermal uniformity and reduction of the Si etching time. Based on the above design, low power consumption alcohol gas sensor was fabricated, which showed substantial sensitivity down to 0.05Â ppm alcohol at low power consumption (24Â mW).
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Sensors and Actuators B: Chemical - Volume 217, 1 October 2015, Pages 146-150
Journal: Sensors and Actuators B: Chemical - Volume 217, 1 October 2015, Pages 146-150
نویسندگان
S.E. Moon, H.-K. Lee, N-J. Choi, H.T. Kang, J. Lee, S.D. Ahn, S.Y. Kang,