کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
7180503 1467836 2018 44 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
A novel single shot interferometry with a wide field of view by reference plates coated with various metals
ترجمه فارسی عنوان
یک ترانزیستور ردیف یک ضربه شات با یک میدان گسترده ای از دید با صفحات مرجع با پوشش های مختلف فلزات
ترجمه چکیده
یک میکروسکوپ لیزری با یک میدان دید وسیع که در مطالعه قبلی ما ایجاد شده است، ما را قادر به مشاهده کل سطح سیلندر در یک زمان بسیار کوتاه می دانیم. در این مطالعه، تفکیک میکروسکوپ لیزر در جهت عمق برای به دست آوردن یک میدان گسترده از نظر قربانی شد. برای غلبه بر این نواقص و دستیابی به اندازه گیری نانو سطح پروفیل های سه بعدی اشیاء مختلف، ما دو روش پرتو درمانی را به میدان دید گسترده ای از میکروسکوپ لیزر معرفی کرده ایم. برای رسیدن به الگوی حاشیه تضاد کنتراست، یک صفحه مرجع شیشه ای با یک فیلم کروم نازک و دیگر فلزات خالص پوشیده شده است. الگوی حاشیه تداخل از موج سینوسی به شکل موجی مانند اره تحریف شده است. اعوجاج الگوی حاشیه تداخل به نظر می رسد با سطح نمونه اندازه گیری شده مطابقت دارد. این نشان می دهد امکان تحقق روش جدید تداخل سنجی یکپارچه که قادر به تعیین مشخصات سطح از تنها یک تصویر از الگوی حاشیه تداخل بدون استفاده از روش تغییر فاز است. نوع تحریف شدت توزیع شدت برای هر فلز متفاوت بود. مکانیسم هایی که از طریق توزیع شدت لبه های تداخل به الگوی نخی تبدیل می شوند از هر دو تحلیلی تبدیل فوریه و یک روش الکترومغناطیسی مورد بحث قرار می گیرد.
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه سایر رشته های مهندسی مهندسی صنعتی و تولید
چکیده انگلیسی
A laser microscope with a wide field of view developed in our previous study allowed us to observe the whole surface of a cylinder in a very short time. In that study, resolution of the laser microscope in the depth direction was sacrificed to obtain a wide field of view. To overcome this shortcoming and achieve nano-level measurement of 3-dimensional profiles of various objects, we have introduced two-beam interferometry to the wide field of view laser microscope. To achieve a high contrast interference fringe pattern, a glass reference plate was coated with a thin Cr film or other pure metals. The interference fringe pattern was distorted from sinusoidal wave into a sawtooth-like waveform. The distortion of the interference fringe pattern appeared to correspond to the inclination of the specimen surface measured. This shows the possibility of realizing a novel single shot interferometry method capable of determining the surface profile from only one image of the interference fringe pattern without using the phase shift method. The type of distortion of intensity distribution was different for each metal. The mechanisms by which the intensity distribution of the interference fringes changed to sawtooth pattern are discussed from both a Fourier-transform analysis and an electromagnetic approach.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Precision Engineering - Volume 52, April 2018, Pages 345-355
نویسندگان
, , ,