Reducing edge roll-off during polishing of substrates

تقاضا برای کاهش راندگی لبه در هنگام پرداخت بسترها مانند ورقه های سیلیکونی و دیسک های شیشه ای در حال حاضر بیش از توانایی های فن آوری های موجود است. برای مقابله با این مشکل، در مطالعات قبلی پیشنهاد شده است که استفاده از لایه های پرداخت دو لایه با یک لایه ی بالا نازک می تواند راندگی لبه ی قطعات را کاهش دهد، که در نتیجه موجب بهبود مسطح بودن سطح در لبه ی قطعات می شود. با این حال، چنین پدال های صیقل مشکالت جدی برای استفاده عملی دارند. در این مطالعه، عوامل پلیمری مورد نیاز برای سرکوب غلظت فشار تماس در نزدیکی لبه کار قطعه مورد بررسی قرار گرفته است. بر اساس نتایج، ما دو نوع پد لعاب دار و یک وضعیت پرداخت را پیشنهاد می کنیم. آزمایش های پرداخت در وفل سیلیکون نشان می دهد که پد های پرداخت لهستانی و شرایط پرداخت به طور موثر تطابق سطح لبه سایت را بهبود می بخشد.