کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
7180794 1467847 2015 9 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Design and characterisation of an active mirror for EUV-lithography
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه سایر رشته های مهندسی مهندسی صنعتی و تولید
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Design and characterisation of an active mirror for EUV-lithography
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Precision Engineering - Volume 41, July 2015, Pages 102-110
نویسندگان
, , , ,