کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
7180799 | 1467845 | 2016 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Uncertainty analysis of slot die coater gap width measurement by using a shear mode micro-probing system
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
سایر رشته های مهندسی
مهندسی صنعتی و تولید
پیش نمایش صفحه اول مقاله

چکیده انگلیسی
A shear mode micro-probing system was constructed for gap measurement of a precision slot die coater with a nominal gap width of 90 μm and a length of 200 mm. A glass micro-stylus with a nominal tip ball diameter of 52.6 μm was oscillated by a tuning fork quartz crystal resonator with its oscillation direction parallel to the measurement surfaces. An on-line qualification setup was established to compensate for the influences of the uncertainty sources, including the water layers on the measurement surfaces. The measurement uncertainty of the measured gap width was estimated to be less than 100 nm.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Precision Engineering - Volume 43, January 2016, Pages 525-529
Journal: Precision Engineering - Volume 43, January 2016, Pages 525-529
نویسندگان
So Ito, Yuan-Liu Chen, Yuki Shimizu, Hirotaka Kikuchi, Wei Gao, Kazuhiko Takahashi, Toshihiko Kanayama, Kunmei Arakawa, Atsushi Hayashi,