کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
727151 | 892701 | 2010 | 9 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Analysis of charged device model (CDM) ESD in MEMS
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
سایر رشته های مهندسی
مهندسی برق و الکترونیک
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
The effect of charge injection due to CDM ESD in capacitive MEMS structures is analyzed. The results show that as feature size is reduced, ESD injected charge produces a change for the stiction effect which is inversely proportional to the square of the plate area and a change in the dielectric layer breakdown which is inversely proportional to the plate area. An electric field model is developed to examine charge and voltage modes in MEMS. A charge injection test method is proposed to determine the susceptibility of MEMS to CDM ESD.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Journal of Electrostatics - Volume 68, Issue 2, April 2010, Pages 159–167
Journal: Journal of Electrostatics - Volume 68, Issue 2, April 2010, Pages 159–167
نویسندگان
William D. Greason,