کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
731712 | 1461541 | 2007 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
A self-temperature-compensated micromechanical bridge resonator
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
سایر رشته های مهندسی
کنترل و سیستم های مهندسی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
A self-temperature-compensated micromechanical bridge resonator is designed and fabricated. The resonator comprises an electrothermal excitation/piezoresistive detection Si/SiO2 bridge resonator and a cantilever thermometer. Both bridge and cantilever have approximately equal thickness and fabricate simultaneously with same materials by identical process. The temperature drift of bridge resonator’ resonance frequency is compensated by changing voltage applied on the Wheatstone bridge to an appropriated value determined by the output voltage of cantilever thermometer. The temperature drift of resonance frequency drops down two orders of magnitude compared with that of uncompensated resonator.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Measurement - Volume 40, Issues 9–10, November–December 2007, Pages 975–979
Journal: Measurement - Volume 40, Issues 9–10, November–December 2007, Pages 975–979
نویسندگان
Jianqiang Han, Changchun Zhu, Yongsheng Shi, Junhua Liu,