کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
737595 | 1461926 | 2012 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Glass-to-glass anodic bonding using TiNx interlayers for fully transparent device applications
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
الکتروشیمی
پیش نمایش صفحه اول مقاله

چکیده انگلیسی
TiNx thin films reactively magnetron sputtered on glass surface are examined for anodic bonding of glass plates for fully transparent device applications. Using under-stoichiometric titanium nitride thin films 22–63 nm thick to bond the glass substrates makes it possible to apply approximately 10 min preheating time, 3 min bonding time, bonding temperature of 430 °C and 50–120 V voltage to obtain the seals of about 13.5–27.0 MPa tensile strength.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 174, February 2012, Pages 139–143
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 174, February 2012, Pages 139–143
نویسندگان
Piotr Mrozek,