کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
737595 1461926 2012 5 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Glass-to-glass anodic bonding using TiNx interlayers for fully transparent device applications
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی الکتروشیمی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Glass-to-glass anodic bonding using TiNx interlayers for fully transparent device applications
چکیده انگلیسی

TiNx thin films reactively magnetron sputtered on glass surface are examined for anodic bonding of glass plates for fully transparent device applications. Using under-stoichiometric titanium nitride thin films 22–63 nm thick to bond the glass substrates makes it possible to apply approximately 10 min preheating time, 3 min bonding time, bonding temperature of 430 °C and 50–120 V voltage to obtain the seals of about 13.5–27.0 MPa tensile strength.

ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 174, February 2012, Pages 139–143
نویسندگان
,