کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
738223 | 1461934 | 2007 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
An intelligent bipolar actuation method with high stiction immunity for RF MEMS capacitive switches and variable capacitors
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
الکتروشیمی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
We propose an intelligent bipolar actuation (IBA) method for electrostatic actuators, which can suppress stiction induced by dielectric charging. The high stiction immunity is achieved by flipping the bias voltage polarity depending on the pull-out voltage, thereby restricting the amount of charge stored in the dielectric film.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 139, Issues 1–2, 12 September 2007, Pages 233–236
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 139, Issues 1–2, 12 September 2007, Pages 233–236
نویسندگان
Hiroaki Yamazaki, Tamio Ikehashi, Tatsuya Ohguro, Etsuji Ogawa, Kenji Kojima, Kazunari Ishimaru, Hidemi Ishiuchi,