کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
738972 | 894054 | 2007 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Impact of structural parameters on the performance of silicon micromachined capacitive pressure sensors
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
الکتروشیمی
پیش نمایش صفحه اول مقاله

چکیده انگلیسی
In this paper we examine with analytical and finite element modeling the influence of structural parameters on the performance of capacitive silicon pressure sensors. It is found that device behavior is dependant on the substrate deformation as well as the foundation of the sensor diaphragm. Accurate results may only be obtained when all parameters and residual stresses are included.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 137, Issue 1, 12 June 2007, Pages 20–24
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 137, Issue 1, 12 June 2007, Pages 20–24
نویسندگان
V. Tsouti, G. Bikakis, S. Chatzandroulis, D. Goustouridis, P. Normand, D. Tsoukalas,