کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
750171 | 1461935 | 2006 | 8 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Micromachined Fourier transform spectrometer on silicon optical bench platform
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
الکتروشیمی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
We present a miniaturized Fourier transform spectrometer implemented on a silicon optical bench platform. Both optical and opto-mechanical components of a Michelson interferometer, including a silicon beam splitter, micromirrors, MEMS actuators, and fiber U-grooves, are simultaneously fabricated by micromachining of the device layer of a silicon-on-insulator wafer. Our specialized bulk micromachining process combines the flexible definition capability of deep reactive ion etching with the good surface quality provided by anisotropic KOH wet etching. This integrated Fourier transform spectrometer has a measured spectral resolution of approximately 45 nm near 1500 nm wavelength.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volumes 130–131, 14 August 2006, Pages 523–530
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volumes 130–131, 14 August 2006, Pages 523–530
نویسندگان
Kyoungsik Yu, Daesung Lee, Uma Krishnamoorthy, Namkyoo Park, Olav Solgaard,