کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
7833191 1503517 2018 26 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Surface chemistry of thermal dry etching of cobalt thin films using hexafluoroacetylacetone (hfacH)
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Surface chemistry of thermal dry etching of cobalt thin films using hexafluoroacetylacetone (hfacH)
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 455, 15 October 2018, Pages 438-445
نویسندگان
, , ,