کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
7833191 | 1503517 | 2018 | 26 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Surface chemistry of thermal dry etching of cobalt thin films using hexafluoroacetylacetone (hfacH)
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 455, 15 October 2018, Pages 438-445
Journal: Applied Surface Science - Volume 455, 15 October 2018, Pages 438-445
نویسندگان
Jing Zhao, Mahsa Konh, Andrew Teplyakov,