کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
7835498 1503534 2018 6 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
In-situ XRD vs ex-situ vacuum annealing of tantalum oxynitride thin films: Assessments on the structural evolution
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
In-situ XRD vs ex-situ vacuum annealing of tantalum oxynitride thin films: Assessments on the structural evolution
چکیده انگلیسی
A higher structural stability was observed in some of the samples, particularly on those with highest oxygen content, but also on the sample with non-metal (O + N) to metal (Ta) ratio around 0.5.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 438, 30 April 2018, Pages 14-19
نویسندگان
, , , , , ,