کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
7902385 1510452 2014 5 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
A study of diamond like carbon/chromium films deposited by microwave plasma activated chemical vapor deposition
ترجمه فارسی عنوان
مطالعه الماس مانند کربن / کروم فیلم پوشیده شده توسط پلاسما مایکروویو پلاسما فعال شیمیایی رسوب
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد سرامیک و کامپوزیت
چکیده انگلیسی
Since metal interlayer improves the adhesion, a sequential method of deposition of diamond like carbon (DLC) on Cr has been tried. The Cr interlayer and DLC grown sequentially on Si (100) by pulsed DC magnetron sputtering and microwave plasma CVD (MPCVD), respectively, which resulted in intermixing of DLC and Cr on the upper part of Cr interlayer. The intermixed layer contains nanocrystals of CrC which most likely contributes to formation of a relatively hard (18 GPa) DLC with high modulus (up to 320 GPa) and improved adhesion.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Journal of Non-Crystalline Solids - Volume 386, 15 February 2014, Pages 14-18
نویسندگان
, , , , ,