کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
7912695 | 1510890 | 2016 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Atomic scale investigation of arsenic segregation in high-k metal gate stacks
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سرامیک و کامپوزیت
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Atomic scale investigation of arsenic segregation in high-k metal gate stacks Atomic scale investigation of arsenic segregation in high-k metal gate stacks](/preview/png/7912695.png)
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Scripta Materialia - Volume 113, 1 March 2016, Pages 231-235
Journal: Scripta Materialia - Volume 113, 1 March 2016, Pages 231-235
نویسندگان
Robert Estivill, Marc Juhel, Magali Gregoire, Adeline Grenier, Vincent Delaye, Didier Blavette,