کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
8039065 1518593 2018 5 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Identification of fragment ions produced from hexamethyldisilazane and production of low-energy mass-selected fragment ion beam
ترجمه فارسی عنوان
شناسایی یون های قطعه ای تولید شده از هگزامتیلدیزیلازان و تولید پرتو یون قطعه ای با حجم کم
کلمات کلیدی
یون قطعه، هگزامتیدیلدیزیلازان، پرتو یون کم انرژی،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد سطوح، پوشش‌ها و فیلم‌ها
چکیده انگلیسی
Fragment ions produced from hexamethyldisilazane (HMDS) with a hot tungsten wire in a Freeman-type ion source were assayed using a low-energy mass-selected ion beam system. The possible candidates of chemical formulae for these ions are C+, N+, CH3+, CH4+, Si+, SiCH5+, SiC2H6+, SiC3H9+, Si2NCH4+, Si2NC2H7+, Si2NC3H10+, Si2NC4H12+, and Si2NC5H16+. The ion production strongly depended on the tungsten temperature. Among the HMDS derived fragment ions, SiCH5+ ions were mass-selected. The ion energy was 100 eV. Then, the SiCH5+ ions were irradiated to a Si substrate. It was inferred from the analysis of resulting deposited film that silicon carbide films containing a small amount of nitrogen atoms were deposited following the irradiation.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms - Volume 430, 1 September 2018, Pages 1-5
نویسندگان
, , , , ,