دانلود رایگان مقاله ISI : مقایسه خسارات زیر سطحی بر روی سیلیکون مونو کریستالیزه بین ماشینکاری نانومقیاس سنتی و ماشینکاری نانومقیاس با کمک لیزر از طریق شبیه سازی دینامیک مولکولی

Comparison of subsurface damages on mono-crystalline silicon between traditional nanoscale machining and laser-assisted nanoscale machining via molecular dynamics simulation

Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms - Volume 414, 1 January 2018, Pages 61-67

Houfu Dai, Shaobo Li, Genyu Chen,