کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
8039575 | 1518636 | 2016 | 9 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Intercomparison of ion beam analysis software for the simulation of backscattering spectra from two-dimensional structures
ترجمه فارسی عنوان
تعادلی از نرم افزار تجزیه ای پرتو یون برای شبیه سازی طیف های برگشت پذیر از ساختارهای دو بعدی
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
تجزیه و تحلیل پرتو یون، شبیه سازی رایانهای،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سطوح، پوششها و فیلمها
چکیده انگلیسی
The codes RBS-MAST, STRUCTNRA, F95-Rough and CORTEO are simulation codes for ion beam analysis spectra from two- or three-dimensional sample structures. The codes were intercompared in a code-code comparison using an idealized grating structure and by comparison to experimental data from a silicon grating on tantalum interlayer. All codes are in excellent agreement at higher incident energies and not too large energy losses. At lower incident energies, grazing angles of incidence and/or larger energy losses plural scattering effects play an increasing role. Simulation codes with plural scattering capabilities offer higher accuracy and better agreement to experimental results in this regime.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms - Volume 385, 15 October 2016, Pages 65-73
Journal: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms - Volume 385, 15 October 2016, Pages 65-73
نویسندگان
M. Mayer, P. Malinský, F. Schiettekatte, Z. Zolnai,