کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
8039575 1518636 2016 9 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Intercomparison of ion beam analysis software for the simulation of backscattering spectra from two-dimensional structures
ترجمه فارسی عنوان
تعادلی از نرم افزار تجزیه ای پرتو یون برای شبیه سازی طیف های برگشت پذیر از ساختارهای دو بعدی
کلمات کلیدی
تجزیه و تحلیل پرتو یون، شبیه سازی رایانهای،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد سطوح، پوشش‌ها و فیلم‌ها
چکیده انگلیسی
The codes RBS-MAST, STRUCTNRA, F95-Rough and CORTEO are simulation codes for ion beam analysis spectra from two- or three-dimensional sample structures. The codes were intercompared in a code-code comparison using an idealized grating structure and by comparison to experimental data from a silicon grating on tantalum interlayer. All codes are in excellent agreement at higher incident energies and not too large energy losses. At lower incident energies, grazing angles of incidence and/or larger energy losses plural scattering effects play an increasing role. Simulation codes with plural scattering capabilities offer higher accuracy and better agreement to experimental results in this regime.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms - Volume 385, 15 October 2016, Pages 65-73
نویسندگان
, , , ,