کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
8041855 1518691 2014 5 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
On the effective sputter yield during magnetron sputter deposition
ترجمه فارسی عنوان
در اثر عملکرد مایع در زمان رسوب مگنترون اسپری
کلمات کلیدی
عملکرد اسپری، مگنترون، مدل سازی،
ترجمه چکیده
عملکرد اسپیتری موثر در زمان پخش پاشش مگنترون اهداف عنصری با وزن هدف قبل و بعد از اسپری شدن در ولتاژ تخلیه ثابت اندازه گیری شد. در طول آزمایش، جریان فشار و تخلیه ثبت شد. عملکرد اسپری موثر با مجموعه ای از معادلات نیمه تجربی منتشر شده برای محاسبه عملکرد اسپری برای تعاملات یونی / جامد است. تفاوت بین هر دو عملکرد بر اساس مشارکت های مختلفی که بر عملکرد اسپاتری موثر نظیر بارگذاری مجدد، زبری اهداف و سهم نوترونی پر انرژی تأثیر می گذارند، مورد بحث قرار می گیرد.
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد سطوح، پوشش‌ها و فیلم‌ها
پیش نمایش مقاله
در اثر عملکرد مایع در زمان رسوب مگنترون اسپری
چکیده انگلیسی
The effective sputter yield during magnetron sputtering of elemental targets was measured by weighing the target before and after sputtering at constant discharge voltage. During the experiment, the pressure and discharge current were logged. The effective sputter yield is compared with a set of published semi-empirical equations to calculate the sputter yield for ion/solid interactions. The differences between both yields are discussed based on different contributions which affect the effective sputter yield such as redeposition, the target roughness and the contribution of high energetic neutrals.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms - Volume 328, 1 June 2014, Pages 65-69
نویسندگان
,