Dynamic focusing of microprobe lens system during scanning process

لنزهای چهارگوش بسیار هیجان انگیز دارای ابعاد قابل توجه کروی هستند و بسیار حساس به زاویه ورودی پرتو هستند و اندازه میکروپروب ممکن است در حین اسکن شدن بطور قابل توجهی متفاوت باشد اگر اسکنر قبل یا داخل سیستم فوکوس قرار داده شود. اثر محو شدن پروب در هنگام دور شدن از محور اپتیک می تواند تا حدی با اتخاذ یک روش تمرکز پویا به سیستم های لنزهای چهار بعدی مغناطیسی مانند دستگاه های پرتو الکترونی جبران شود. تمرکز پویا به معنای تغییر جریانهای لنز چهارگانه است که همگام با انحراف پرتو در قاعده خاص است، به طوری که اندازه پروب در هر نقطه ردیف حداقل باشد. چهار برابر لنزهای چهارگوش مغناطیسی در نظر گرفته شد.