کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
8042844 1518714 2013 4 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
A microscopic view of secondary ion formation
ترجمه فارسی عنوان
یک دید کلی از شکل گیری یون های ثانویه
کلمات کلیدی
تشکیل یون ثانویه، کندوپاش، شبیه سازی دینامیک مولکولی، تحریک جنبشی،
ترجمه چکیده
شکل گیری یون های ثانویه در آبشویی با ترکیب دینامیک مولکولی کلاسیک سینتیک ذرات با استفاده از روش های تحلیلی ساده، مدل سازی انتقال انرژی به انرژی الکتریکی تحریک، انتقال تحریک به دور از نقطه تولید آن و انتقال بار بین جامد و یک ذره پراکنده. برای ساده ترین مورد یک اتم فلزی که از یک سطح فلز تمیز می شود، پیش بینی های چنین مدلی برای پاسخ به چند سؤال اساسی در مورد فرایند تشکیل یون استفاده می شود. نتایج نشان می دهد که تحرک موضعی گذرا از جامد بمباران نقش مهمی در تعیین حالت شارژ اتم اسپری دارد. علاوه بر این، دریافت می کنیم که فرض یک ذره اسپری شده از یک سطح ایده آل، سطح دست نخورده با سرعت انتشار ثابت - تصویری که پایه فیزیکی تقریبا تمام مدل های منتشر شده یونی را منتشر می کند - به طور کلی توجیه نمی شود.
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد سطوح، پوشش‌ها و فیلم‌ها
پیش نمایش مقاله
یک دید کلی از شکل گیری یون های ثانویه
چکیده انگلیسی
The formation of secondary ions in sputtering is described by combining classical molecular dynamics of the particle kinetics with simple analytical treatments modeling the transfer of kinetic into electronic excitation energy, the transport of excitation away from the point of its generation and the charge transfer between the solid and a sputtered particle. For the simplest case of a metal atom sputtered from a clean metal surface, the predictions of such a model are used to answer a few fundamental questions regarding the ion formation process. The results indicate that the transient local excitation of the bombarded solid plays a dominant role in determining the charge state of a sputtered atom. Moreover, we find that the assumption of a sputtered particle being emitted from an ideal, undisturbed surface with a constant emission velocity - a picture which forms the physical basis of nearly all published secondary ion formation models - is not generally justified.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms - Volume 303, 15 May 2013, Pages 108-111
نویسندگان
, , ,