کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
8044299 | 1518918 | 2018 | 34 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Low energy ion scattering as a depth profiling tool for thin layers - Case of bromine methanol etched CdTe
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سطوح، پوششها و فیلمها
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
We have investigated the properties of the Te-rich surface layer formed after a bromine-methanol etch of CdTe single crystal by two methods: Angle Resolved X-Ray Photoelectron Spectroscopy (ARXPS) and Low Energy Ion Scattering (LEIS) in the Dynamic mode. We compare the acquisition time of each method. The results showed similar, exponential decay of the Te/Cd ratio to a depth of 6â¯nm. At the depths higher than 6â¯nm, the substrate becomes stoichiometric. Dynamic LEIS provided more detailed information about composition at depths lower than the probing depth of ARXPS. The Dynamic LEIS measurements suggest that the composition of the outermost layer of CdTe after bromine-methanol etching consists of CdTe4.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Vacuum - Volume 152, June 2018, Pages 138-144
Journal: Vacuum - Volume 152, June 2018, Pages 138-144
نویسندگان
OndÅej Å ik, Petr Bábor, Josef PolÄák, Eduard Belas, Pavel Moravec, LubomÃr Grmela, Jan StanÄk,