کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
8044549 1518921 2018 4 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Modeling of the effect of field electron emission from the cathode with a thin insulating film on its emission efficiency in gas discharge plasma
ترجمه فارسی عنوان
مدل سازی اثر انتشار الکترون میدان از کاتد با یک فیلم عایق نازک بر کارایی انتشار آن در پلاسمای تخلیه گاز
کلمات کلیدی
کاتد با فیلم عایق، انتشار الکترونی میدان، تابع توزیع انرژی الکترون، راندمان انتشار فیلم،
ترجمه چکیده
یک مدل انتشار الکترونی میدان از کاتد فلز با یک فیلم عایق الکتریکی نازک تحت میدان الکتریکی قوی تولید شده توسط این فیلم توسط یون های بمباران سطح آن در تخلیه گاز توسعه یافته است. تونل زنی الکترون ها از بستر فلزی الکترود به فیلم عایق، حرکت آنها در فیلم و خروج از آن به حجم تخلیه می شود. یک راه حل تحلیلی معادله جنبشی یک بعدی برای عملکرد توزیع انرژی الکترونها در نوار هدایت فیلم پیدا شده است و بیانگر کارایی انتشار سیگنال برابر با کسری از الکترونهای خروجی است که از فیلم فرار می کند و کاتد را افزایش می دهد تولید الکترونهای ثانویه مؤثر تولید شده است. نشان داده شده است که وابستگی محاسبه بهره وری انتشار بر قدرت میدان الکتریکی در فیلم اکسید آلومینیومی در توافق با داده های تجربی برای کاتد های تونل زنی فلزات مقره ای است. مدل پیشنهادی میتواند برای بررسی اثر الکترون انتشاری میدان از کاتد با یک فیلم عایق نازک بر ویژگیهای انتشار آن در دستگاههای تخلیه گاز استفاده شود.
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد سطوح، پوشش‌ها و فیلم‌ها
پیش نمایش مقاله
مدل سازی اثر انتشار الکترون میدان از کاتد با یک فیلم عایق نازک بر کارایی انتشار آن در پلاسمای تخلیه گاز
چکیده انگلیسی
A model of field electron emission from the metal cathode with a thin insulating film under the strong electric field, generated in the film by ions bombarding its surface in gas discharge, is developed. It takes into account tunneling of electrons from the electrode metal substrate into the insulating film, their motion in the film and going out of it into the discharge volume. An analytical solution of the one-dimensional kinetic equation for the energy distribution function of emitted electrons in the film conduction band is found and an expression for the film emission efficiency equal to the fraction of emitted electrons, which escapes from the film and increases the cathode effective secondary electron emission yield, is obtained. It is demonstrated that calculated dependence of the emission efficiency on the electric field strength in the aluminum oxide film is in an agreement with experimental data for metal-insulator-metal tunneling cathodes. The proposed model can be used for investigation of an influence of the field electron emission from the cathode with a thin insulating film on its emission characteristics in gas discharge devices.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Vacuum - Volume 149, March 2018, Pages 114-117
نویسندگان
, , ,