کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
8045224 1518968 2014 7 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Gas discharge devices generating the directed fluxes of off-electrode plasma
ترجمه فارسی عنوان
دستگاه های تخلیه گاز تولید جریان های هدایت شده از پلاسما خارج الکترودهایی
ترجمه چکیده
یک رویکرد جدید در جهت تولید جریانهای گسترده ای از پلاسمای کم دمای خارج از فضای بین الکترودها و یک دستگاه تخلیه گاز مربوطه برای شکل گیری الگوهای پراش میکرو و نانو در ورقه های گسترده ای پیشنهاد شده است بر اساس نتایج تجزیه و تحلیل دستگاه های تخلیه گاز که پرتو های الکترون یونی را در اثر تخلیه گاز ولتاژ بالا تولید می کنند.
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد سطوح، پوشش‌ها و فیلم‌ها
پیش نمایش مقاله
دستگاه های تخلیه گاز تولید جریان های هدایت شده از پلاسما خارج الکترودهایی
چکیده انگلیسی
A new approach toward the generation of wide-format directed fluxes of low-temperature plasma outside the interelectrode space and a corresponding gas discharge device to be used for the formation of micro- and nano-sized diffraction patterns on wide-format wafers have been proposed based on the analysis results of gas discharge devices that generate the ion-electron beams under high-voltage gas discharge.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Vacuum - Volume 101, March 2014, Pages 291-297
نویسندگان
, , ,